多腔室濺射設(shè)備
機(jī)型:XHMS系列
多腔室濺射設(shè)備....
設(shè)備特點(diǎn)
? 多腔室獨(dú)立設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)復(fù)雜工藝集成;
? 磁場優(yōu)化與靶材設(shè)計(jì),提升沉積效率與均勻性;
? 高真空與低溫沉積技術(shù),拓展材料適用性;
? 智能化控制與工藝數(shù)據(jù)庫,保障穩(wěn)定性與可重復(fù)性:
? 模塊化與可定制化設(shè)計(jì),滿足多樣化需求;
? 高效靶材利用與低維護(hù)成本。